(Cyclopentadienyl) Zirkoniumtris (Dimethylamid)

Es ist eine Flüssigkeit bei Raumtemperatur, reagiert sehr empfindlich gegenüber Luft- und Wasserdampfverbindungen, die in organischen Lösungsmitteln wie Kohlenwasserstoffen löslich ist, weist nicht nur eine gute Stabilität und einen höheren Dampfdruck auf, sondern zeigt auch eine recht hohe Reaktivität.

Es kann verwendet werden, um Zirkoniumoxidfilme entweder durch CVD- oder ALD -Techniken herzustellen.