CAS 15112-89-7 Tris (Dimethylamino) Silan (3dmas)

Verwandte Studien zeigen, dass TRI (Dimethylamin) Silan als Vorläuferquelle nicht nur eine gute Stabilität und einen hohen Dampfdruck aufweist, sondern auch eine ziemlich hohe Reaktivität zeigt, sodass diese Organosilicon -Quelle nach ALD -Methode zum Schwerpunkt der Forschung auf SIO2 -Ablagerung geworden ist.

Wird für Aminfondsklassen, Silanreagenz, Organosilicon, elektronische Chemikalien, chemische Rohstoffe verwendet.