Halkohlenwasserstoff-41-Methylfluorid

Fluormethan , auch bekannt als Methylfluorid , Freon 41 , Halcocarbon-41 und HFC-41 , ist ein ungiftiger, verflüssiger und brennbarer Gas bei Standardtemperatur und -druck. Es besteht aus Kohlenstoff , Wasserstoff und Fluor . Der Name beruht auf der Tatsache, dass es sich um Methan (Ch ₄ ) handelt, das durch einen der Wasserstoffatome ersetzt wird.

Es wird zur Herstellung von Halbleiter- und elektronischen Produkten verwendet. In Gegenwart eines HF-Feldfluoromethans wird in Fluoridionen dissoziiert, die selektiv Siliziumverbindungsfilme ( Reaktiv-Ionen-Ätzen ) ätzt.